半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點：

1、結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，成本較低，易維修

2、高壓段功耗相對低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場合

3、排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程

PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真空泵型號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng)，能使用在無冷卻水的系統(tǒng)環(huán)境

可提供符合ATEX標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品

變螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點：

1，運行溫度低，適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場合。                2，運轉(zhuǎn)功耗低，適用于輕負(fù)載應(yīng)用場合，更節(jié)能。                        3，運行噪音更低，適用于運行噪音低的場合，如：貼合機(jī)，無塵室。

4，相同長度轉(zhuǎn)子，抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。

真空壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鐘PS系列、PD系列維修

維修步驟：

1、螺桿泵來料檢驗，真空度、運行時間、振動值、驅(qū)動器、電氣參數(shù)。

2、全部拆卸，油污清潔，打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件，如：軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪，以確?？煽康膬?yōu)質(zhì)服務(wù)和泵浦使用壽命。

4、泵的平衡，利用平衡和分析設(shè)備，調(diào)試佳的狀態(tài)，以減少噪音、振動，延長軸承壽命。

5、測試檢查，參照原廠參數(shù)檢測，結(jié)合客人實際要求與螺桿泵磨損

PMF半導(dǎo)體干凈系列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF系列型號有PMF100，PMF120，PMF612

半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)